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第422章 铭牌解密

    深夜十一点,杭州指挥中心的技术区灯火通明。六名工程师围在三维建模台前,屏幕上,1965年光刻机铭牌背面的刻痕正在被逐层剥离。
    “不是常规电路。”技术总监陈锋放大其中一道沟槽,“深度不均匀,边缘有毛刺,这是手工刻的。但精度……”他调出测量数据,“平均误差0.3微米。用手工在铜板上刻出这个精度,王院士当年八十二岁了。”
    李卫东站在屏幕前,没有说话。
    图像继续放大。那些看似杂乱无章的刻痕,在特定角度下呈现出惊人的规律——不是二维平面,是三维堆叠。每一层刻痕之间,通过微米级的倾斜通道连接。
    “这不是电路图。”陈锋声音发紧,“这是……製造流程图。”
    他调出一块局部,与林浩然带回的euv图纸对比。完全不同的结构,完全不同的材料体系。碳纳米管垂直排列,柵极环绕结构,层间互联通过量子隧穿实现。
    “碳基晶片的三维集成工艺。”吴淑贞走到屏幕前,“王守武1978年去兰州时,带走了中科院半导体所的全部碳材料研究资料。四十五年,他就干了这一件事。”
    “能量產吗?”张铁问。
    “不知道。”陈锋摇头,“图纸里没有设备参数。王院士只给出了『做什么』,没给出『用什么做』。”
    巧妇难为无米之炊。
    李卫东看向彼得森的笔记本。老人说得很清楚:五年,从零建设產业链。那是硅基euv的时间表。
    碳基晶片没有產业链。一切从零开始。
    “李总。”技术组小刘从角落站起来,手里拿著一份列印件,“我在王院士刻痕的第173层发现了一段文本。不是技术参数,是……信。”
    他点开扫描图。在层层叠叠的刻痕最深处,有一小片空白区域,用繁体字工工整整刻著:
    【后来者鉴:若见此文,我当已作古。碳基集成之途,崎嶇难行,我穷四十五年,仅窥门径。所遗之法,非完整工艺,乃一思路、一方向、一火种。】
    【我常思,何为国之重器?非一机一器,乃千万人前赴后继之志。asml称雄,非一日之功,乃四十年叠代,千亿投入,万人心血。我辈起步晚五十年,欲追之,必以百倍努力,千倍耐心。】
    【然耐心非坐等。当此日新月异之世,技术一日千里,坐待则亡。故我留此火种,非求速成,乃求不绝。】
    **【我信,终有一日,中国必有自主可控之高端晶片。不在asml之专利围城,不在西方之技术封锁,而在——】 **
    最后一句话没有刻完。空白处有一道很深的划痕,像是刻刀突然滑脱。
    陈锋沉默了很久,才说:“王院士应该是身体突然不行了。这道划痕的深度……他可能趴在了铭牌上。”
    房间里没有人说话。
    林悦然一直站在角落,这时突然开口:“我哥哥说,他在asml学到最重要的事,不是技术,是『系统』。”
    “系统?”
    “euv不是一台机器,是產业链的结晶。德国蔡司的镜头,美国cymer的光源,日本信越的光刻胶,瑞典的真空腔体……”她声音很轻,“asml只是把这一切集成起来。但他们敢集成,是因为知道每个环节都会按时交货。”
    她抬起头:“中国没有这个系统。”
    李卫东看著她。这个二十六岁的女孩,刚从长达三年的监禁中获救,父母双亡,唯一的哥哥也死了。此刻她站在这里,用破碎的声音告诉一群技术人员:你们缺的不是图纸,是生態。
    “所以第一步不是造光刻机。”张铁说。
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    “是造光刻机的土壤。”陈锋接话。
    李卫东走到窗边。凌晨的杭州城沉睡在黑暗中,只有西湖边的路灯连成模糊的光带。
    他想起1985年父亲和周正明在书房討论双螺杆压缩机国產化。那时中国连合格的钢材都炼不出来,两个中年人对著德国图纸抽了一整夜烟。
    四十年了。
    我们有了合格的钢材,有了自己的压缩机,有了高铁、大飞机、量子计算机。
    但每一次攀登到山顶,总会发现更高的山在前方。
    “通知余承东。”李卫东转身,“明天上午我去深圳。另外,联繫工信部、科技部、国资委——不是开会,是谈判。”
    “谈判什么?”
    “谈一场持久战。”他调出全国半导体產业链地图,“从衬底材料到封装测试,从设备製造到设计软体,全国所有相关企业,愿意加入『自主可控联盟』的,卫东工业提供技术支持和订单保障。不愿意的,我们不勉强。”
    “那asml图纸呢?”
    “继续攻关。”李卫东看向彼得森的笔记本和林浩然的u盘,“但这是远期目標。眼下三年,我们的突破口在成熟製程——28纳米、14纳米。先把这块阵地守住。”
    他顿了顿,声音沉下来:
    “台积电可以用2纳米卡我们脖子,但只要我们在28纳米做到全球成本最低、產能最大,他们就卡不死。”
    这是妥协,也是战略。
    在无法突破封锁的领域,先建根据地。
    在必须突破封锁的领域,用十年磨一剑的耐心。
    陈锋已经调出全国28纳米產能分布图。中芯国际有三条线,华虹有两条,还有十几家中小代工厂——总產能不到台积电的三分之一。
    “订单呢?”
    “华为、中兴、海康、大疆,所有需要成熟製程晶片的企业。”李卫东说,“只要產品设计不涉及尖端工艺,优先採购国內產能。价格比台积电高,我们补差价。”
    这是割肉。卫东工业去年净利润不到三百亿,光刻机研发已经烧掉一百多亿。再补贴晶片產能……
    “资金缺口我来想办法。”吴淑贞开口,“正明那个帐户还剩八十多亿美元。当年他说,这笔钱要在最关键的时候用。现在,就是那时候。”
    李卫东摇头:“那是国安的经费,不是商业投资。”
    “国安的经费,用在保护国家工业安全上,有什么问题?”吴淑贞第一次提高了声音,“正明留这笔钱,不是让你们算帐的,是让你们打仗的!”
    她极少失態。三十八年隱姓埋名,她早已习惯把情绪锁在平静的表象下。
    此刻那层冰面裂了一道缝。
    李卫东沉默良久。
    “淑贞阿姨,这笔钱,算卫东工业向国安借的。”他说,“等渡过难关,十倍归还。”
    吴淑贞別过脸,没有说话。
    窗外,天色將明。
    技术组已经列出了首批需要扶持的十七家中小半导体企业,遍布上海、无锡、深圳、成都。
    陈锋在会议室白板上写下三个词:
    订单。资金。时间。
    最后一个被重重圈起来。
    因为我们最缺的,从来不是钱,不是技术。
    是等得起的耐心。
    和在漫长的等待中,不散伙的信念。
    屏幕上的老光刻机铭牌还在那里。王守武院士四十五年的心血,刻在方寸之间。
    那道未写完的划痕,像一声没能喊出口的遗言。
    李卫东合上笔记本。
    “开始吧。”他说。