第205章 宝岛电路传来异常数据
重回1990：我的科技强国路 作者:佚名
第205章 宝岛电路传来异常数据
林薇被紧急通讯请求的震动唤醒。窗外天色微明，亚热带清晨特有的湿润空气透过未关严的窗缝渗入房间。她看了一眼来电显示，宝积电研发中心的加密线路。
“林总，抱歉这么早打扰。”电话那头是约翰·陈的声音，失去了往日的从容，带著一种压抑的紧迫感，“昨晚进行的tc-224新沉积方案验证实验，出了些……异常情况。”
林薇瞬间清醒，从床上坐起：“什么异常？”
“验证组按您提供的参数，在凌晨两点启动了第一个批次实验。”约翰·陈语速很快，“前三个样品看起来一切正常，沉积速率、薄膜厚度、反射率曲线都符合预期。但第四个样品，设备监控系统记录到一个短暂的功率波动。”
“功率波动？”林薇赤脚走到书桌前，打开笔记本电脑，“幅度多大？持续时间？”
“沉积电源输出功率在0.3秒內下降了8.2%，隨即恢復正常。”约翰·陈那边传来翻动纸张的声音，“由于波动时间太短，在线质量监控系统没有触发警报，按照规程继续完成了整个沉积过程。但今天早上，当我们取出样品进行初步检测时……”
他停顿了一下，声音变得艰涩：“第四个样品的氮化铝过渡层，出现了我们从未见过的微观结构。”
林薇的手指在键盘上快速敲击，远程登录到宝积电的安全数据伺服器：“把扫描电镜图像和x射线衍射数据发给我。现在。”
“已经发送到您的加密帐户。”约翰·陈说，“林总，我需要您马上来研发中心。我们的材料专家说，这种结构……很不寻常。”
半小时后，林薇已经坐在宝积电研发中心的洁净室观察区。透过双层玻璃，她能看到里面穿著无尘服的技术人员正在操作原子力显微镜。屏幕上，第四號样品的表面形貌图正在逐渐清晰。
约翰·陈站在她身边，手里拿著刚列印出来的数据报告，脸色凝重。
“看这里。”林薇指著屏幕上的高分辨图像。在氮化铝薄膜表面，原本应该呈现均匀柱状晶结构的区域，出现了一片直径约两百纳米的圆形区域。在这个区域內，晶体排列呈现出一种奇异的放射状图案，仿佛水面的涟漪被瞬间冻结。
更诡异的是，放射状图案的中心点，原子力显微镜的探针检测到了异常的硬度，比正常氮化铝高出近三倍。
“这是什么？”林薇问。
“我们不知道。”回答的是宝积电材料实验室的主任，一位头髮花白的博士，隔著玻璃用通讯器说道，“这种放射状晶体生长模式，在氮化铝沉积中从未报导过。中心点的高硬度区域……我们做了微区x射线能谱分析，成分还是氮化铝，没有掺杂其他元素。”
林薇调出x射线衍射图谱。正常的氮化铝薄膜应该显示出清晰的(002)晶面择优取向峰，但第四號样品的图谱上，除了主峰外，还出现了几个微弱的额外峰位。
“这些额外峰……”她放大图谱，“对应的是什么晶面？”
“我们查遍了资料库。”材料主任的声音带著困惑，“这些衍射角对应的晶面间距，在標准氮化铝晶体结构中不存在。除非……”
“除非晶体结构本身发生了改变。”林薇接过话头，“氮化铝通常是纤锌矿结构，但有没有可能在特定条件下，形成某种亚稳態的晶体变体？”
观察室里安静了几秒。约翰·陈打破了沉默：“理论上可能，但需要极端条件，高压、高温，或者强烈的电场作用。我们的沉积过程根本不具备这些条件。”
林薇没有立即回应。她的目光在几个屏幕间移动：原子力显微镜图像、x射线衍射图谱、沉积过程的实时监控数据……突然，她注意到一个细节。
“功率波动发生的確切时间点，与沉积层的对应关係是什么？”她问操作员。
技术人员调出时间同步数据。屏幕上，沉积过程的参数曲线与薄膜生长的模擬图像並列显示。那条代表电源功率的蓝色曲线，在某个时刻突然下凹，隨即恢復。
“波动发生在沉积进行到第47纳米厚度时。”技术人员用光標標记位置，“对应的是薄膜生长中期。”
林薇放大那个时间点的所有传感器数据。温度、压力、气体流量、等离子体密度……在功率波动的0.3秒內，几乎所有参数都发生了同步的微小变化。
但有一个参数例外。
“衬底偏压。”林薇指著一条几乎保持水平的红色曲线，“为什么衬底偏压没有变化？”
衬底偏压是沉积过程中施加在硅片上的直流电压，用於吸引离子、控制薄膜的致密性和应力。通常，它应该与等离子体功率联动调节。
约翰·陈凑近屏幕：“偏压电源是独立控制的……等等，这里有问题。”
他调出偏压电源的详细日誌。在功率波动的同一时刻，偏压电源的记录显示：“外部干扰检测，自动切换至缓衝模式。”
“缓衝模式？”林薇皱眉。
“我们的偏压电源有智能保护功能。”电源工程师解释道，“如果检测到来自电网或设备內部的异常干扰，它会自动切换到一个隔离变压器缓衝迴路，避免干扰传递到样品。但在切换过程中，输出电压会有一个极短暂的……相位漂移。”
相位漂移。林薇的脑海里突然闪过一个念头。
“把功率波动前后0.5秒的偏压波形完整数据调出来。”她的声音变得急促，“最高採样率的那组。”
数据被提取出来。在高速採集模式下，原本平滑的直流偏压曲线，显示出肉眼难以察觉的细节，在功率波动的瞬间，偏压信號上叠加了一个高频振盪，频率大约在1.2兆赫兹，振幅很小，只持续了五个周期。
“1.2兆赫兹……”林薇喃喃道，手指在虚擬键盘上快速计算，“这个频率对应的波长……在氮化铝中的传播特性……”
她突然停下，抬头看向约翰·陈：“我需要立即联繫华夏芯谷。现在。”
二十分钟后，一场跨越海峡的视频会议紧急召开。
华夏芯谷这边，陈醒、章晴、金秉洙聚集在euv光源实验室的会议室。宝岛这边，林薇、约翰·陈和宝积电的技术团队在线。
“陈总，请章晴描述一下13.52nm异常光谱峰的特徵。”林薇开门见山。
章晴在视频那头调出数据：“异常峰出现在13.52nm波长，比標准的13.5nm偏移0.02nm。持续时间不等，从0.2秒到0.5秒，出现时间隨机，没有明显规律。光谱半高宽比正常峰略窄，强度约为正常euv辐射的千分之三。”
“0.02nm偏移……”林薇重复这个数字，“对应多少能量差？”
“大约0.014电子伏特。”章晴回答。
林薇转向宝积电的电源工程师：“你们偏压电源的高频振盪频率是1.2兆赫兹。如果这个振盪通过某种机制耦合到等离子体中，可能產生什么效应？”
工程师愣住了：“理论上……高频振盪可能激发等离子体中的特定波模，產生参数共振。但这需要非常精確的频率匹配，而且我们的振盪振幅太小，不足以產生可观测的效应……”
“除非有放大机制。”陈醒的声音从扬声器传来，他一直在沉默地听，“林薇，你是不是怀疑，宝积电沉积设备的电源干扰，和『追光二期』的光谱异常，有共同的物理根源？”
“我需要验证一个假设。”林薇调出两份数据並列显示，左边是euv异常光谱的时间序列，右边是宝积电沉积过程的完整监控记录，“章晴，你们能精確测量异常光谱出现的时间吗？精確到毫秒级。”
“可以。”章晴操作控制系统，“过去72小时的所有异常事件都有时间戳记录。”
“约翰，我需要tc-224实验从开始到结束，所有电源系统、包括厂区电网的完整监控数据。特別是时间同步信號。”
约翰·陈虽然困惑，但还是指示团队调取数据。十五分钟后，一个庞大的数据集被整理出来。
林薇开始进行时间对齐分析。她將两个地点的数据流导入专业的信號处理软体，以国际原子时为基准进行同步。软体屏幕上，两条时间轴缓缓滚动，上面標註著各种事件標记。
起初，似乎没有什么关联。宝积电的电源波动发生在凌晨两点十七分，而华夏芯谷的euv异常光谱出现在多个隨机时间点。
但林薇没有放弃。她调整了分析算法，开始寻找“时间差中的规律”，不是同时发生的事件，而是按照某种固定时间间隔重复出现的模式。
一小时后，软体弹出了一个提示框：
“发现潜在相关性。事件对时间间隔近似等於光从宝岛到合城距离除以电磁波传播速度的整数倍。置信度72%。”
实验室里所有人都屏住了呼吸。
林薇放大分析结果。屏幕上显示，宝积电电源波动事件发生的时间点，与七个小时后华夏芯谷出现的两次euv光谱异常，存在精確的时间对应关係，时间差正好是电磁波从新竹到合城距离（约650公里）除以光速的两倍。
“两倍？”章晴不解。
“因为电磁波需要从源头传播到目的地，再被某种机制反射或散射回来。”陈醒的声音变得深沉，“这是一种……延迟共振效应。”
金秉洙博士突然拍案而起：“我明白了！如果有一个超低频的电磁扰动在传播，当它经过两个地点时，可能会与当地的设备產生相互作用。但为什么是宝积电的电源波动影响我们的euv光源？两地设备完全不同。”
“因为它们都工作在极端精密的电磁环境下。”林薇调出更多的环境监测数据，“看看这个，过去三天，东亚地区的电离层监测数据。这里有一个微弱的异常扰动，频率在1-3赫兹之间，传播方向从东南向西北。”
那是一种几乎不可察觉的地磁脉动，强度只有正常地磁场的百万分之一。通常这种扰动会被完全忽略。
“这种超低频电磁波可以穿透建筑物和屏蔽层。”林薇继续解释，“当它经过宝积电时，与沉积设备的电源系统发生耦合，產生了1.2兆赫兹的高频谐波。这个谐波又被传递到氮化铝沉积过程中，改变了晶体生长条件。”
“那我们的euv光源呢？”章晴问。
“同样的地磁脉动，传播到华夏芯谷时，可能与『追光二期』的高压电极系统发生相互作用。”林薇调出euv光源的结构图，“还记得那个我们安装的『起搏器』电极吗？它正在主动放电，形成一个可控的等离子体区域。如果外部电磁扰动与这个放电等离子体发生共振……”
“就可能激发出特定波长的辐射。”陈醒接过话，“13.52nm，这个波长对应的能量，正好是某种等离子体振盪模式的激发能。金博士，计算一下你们放电等离子体的特徵频率。”
金秉洙快速操作模擬软体。几分钟后，结果出来了：“如果我们放电等离子体中的电子密度波动与离子声波耦合……確实可能產生13.52nm左右的辐射。但需要非常特定的条件。”
“那个条件就是外部电磁扰动。”林薇总结道，“当特定频率、特定相位的地磁脉动经过时，就像一根手指轻轻拨动了琴弦，激发了原本处於临界状態的系统。”
会议室里一片寂静。这个推论太大胆了，两个相隔数百公里、技术完全不同的半导体製造设备，竟然因为遥远的地磁扰动而產生了隱秘的关联。
但数据就在那里，数学上无可辩驳。
“如果这个假设成立，”约翰·陈第一个打破沉默，他的声音带著震惊，“那意味著……整个东亚地区的高端半导体製造，可能都暴露在一个我们从未考虑过的风险因素下。地磁脉动、电网谐波、设备间的隱秘耦合……”
“这意味著我们需要重新评估所有精密製造过程的环境耐受性。”林薇看向陈醒，“陈总，我建议立即启动一项联合研究，监测东亚地区的电磁环境，建立预警模型。如果地磁扰动確实能影响晶片製造，那么『天权5號』量產过程中的良率波动，可能有一部分原因就在这里。”
陈醒沉默了几秒，然后说：“章晴，立即分析过去三个月所有euv异常光谱事件，与公开的地磁监测数据进行关联分析。金博士，评估在『追光二期』上加装主动电磁屏蔽的可行性。林薇，你那边继续与宝积电合作，但实验要暂停，直到我们搞清楚这个异常晶体结构的长期稳定性。”
他停顿了一下，语气变得格外严肃：“还有一件事。这个发现，目前仅限於这个会议室里的人知道。在完成全面评估之前，不得向任何外部人员透露。约翰副总裁，我希望宝积电方面也能遵守同样的保密要求。”
“我明白。”约翰·陈郑重道，“但陈总，林总，如果这个风险確实存在，那么整个行业都需要知道。这不仅仅是未来科技或宝积电的问题。”
“等我们有了確凿证据再说。”陈醒结束了通话。
视频会议结束后，林薇独自留在观察室。窗外，宝积电的晶圆厂已经开始新一天的生產。巨大的厂房在晨光中安静地运行著，没有人知道，这些製造著全球最先进晶片的设备，可能正受到来自地球磁场深处的微妙扰动。
她的手机震动，是陈醒发来的私密信息：
“那个放射状晶体结构，有没有可能是某种……新型材料？”
林薇重新调出原子力显微镜图像。那个直径两百纳米的奇异区域，在屏幕上静静展示著自己的与眾不同。中心点的高硬度，放射状的生长模式，异常的x射线衍射峰……
“需要进一步分析。”她回復，“但如果真的是氮化铝的亚稳態变体，並且具有更高的硬度、更好的热导率……”
“那么它可能就是chiplet封装一直在寻找的理想过渡层材料。”陈醒的信息快速回復，“一场由电磁扰动意外催生的材料突破。林薇，安排將这个样品紧急送回深城。让徐文渊教授亲自分析。”
“但宝积电方面……”
“与他们签订材料共同研发协议。”陈醒的决策果断，“如果这真是一个新发现，未来科技和宝积电共同拥有智慧財產权。这是维持合作的最好方式。”
林薇放下手机，看著洁净室里技术人员正在小心翼翼地將第四號样品装入特製的防护容器。那个因为电源波动意外诞生的微观结构，此刻承载著远超它自身尺寸的意义。
它可能是一个问题的答案，也可能是一个更大问题的开始。
而就在这时，她的工作邮箱收到了一封新邮件。发件人是台积电的梁总监，標题很简单：“关於今晨电磁异常事件的非正式交流”。
林薇点开邮件，內容只有一行字和一个附件：
“今晨2:15-2:20期间，我司3nm研发线记录到三次光刻机对准系统异常偏移。附件是原始数据。或许你们也会感兴趣？”
附件需要双重密码解锁。林薇输入密码，文件展开，那是台积电最先进的euv光刻机在凌晨时分的监控日誌。在几乎完全相同的时间段，三台不同厂房的光刻机，记录到了纳米级的工作檯位置漂移，虽然很快自动校正，但在如此精密的设备上，这种异常前所未有。
林薇靠在椅背上，深深吸了一口气。
地磁脉动的涟漪，似乎正在整个东亚半导体產业的水面上，盪起越来越清晰的波纹。
而她知道，当这些涟漪最终匯聚成浪时，可能改变的不只是一两个產品的良率，而是整个高端製造的技术范式。
第205章 宝岛电路传来异常数据
林薇被紧急通讯请求的震动唤醒。窗外天色微明，亚热带清晨特有的湿润空气透过未关严的窗缝渗入房间。她看了一眼来电显示，宝积电研发中心的加密线路。
“林总，抱歉这么早打扰。”电话那头是约翰·陈的声音，失去了往日的从容，带著一种压抑的紧迫感，“昨晚进行的tc-224新沉积方案验证实验，出了些……异常情况。”
林薇瞬间清醒，从床上坐起：“什么异常？”
“验证组按您提供的参数，在凌晨两点启动了第一个批次实验。”约翰·陈语速很快，“前三个样品看起来一切正常，沉积速率、薄膜厚度、反射率曲线都符合预期。但第四个样品，设备监控系统记录到一个短暂的功率波动。”
“功率波动？”林薇赤脚走到书桌前，打开笔记本电脑，“幅度多大？持续时间？”
“沉积电源输出功率在0.3秒內下降了8.2%，隨即恢復正常。”约翰·陈那边传来翻动纸张的声音，“由于波动时间太短，在线质量监控系统没有触发警报，按照规程继续完成了整个沉积过程。但今天早上，当我们取出样品进行初步检测时……”
他停顿了一下，声音变得艰涩：“第四个样品的氮化铝过渡层，出现了我们从未见过的微观结构。”
林薇的手指在键盘上快速敲击，远程登录到宝积电的安全数据伺服器：“把扫描电镜图像和x射线衍射数据发给我。现在。”
“已经发送到您的加密帐户。”约翰·陈说，“林总，我需要您马上来研发中心。我们的材料专家说，这种结构……很不寻常。”
半小时后，林薇已经坐在宝积电研发中心的洁净室观察区。透过双层玻璃，她能看到里面穿著无尘服的技术人员正在操作原子力显微镜。屏幕上，第四號样品的表面形貌图正在逐渐清晰。
约翰·陈站在她身边，手里拿著刚列印出来的数据报告，脸色凝重。
“看这里。”林薇指著屏幕上的高分辨图像。在氮化铝薄膜表面，原本应该呈现均匀柱状晶结构的区域，出现了一片直径约两百纳米的圆形区域。在这个区域內，晶体排列呈现出一种奇异的放射状图案，仿佛水面的涟漪被瞬间冻结。
更诡异的是，放射状图案的中心点，原子力显微镜的探针检测到了异常的硬度，比正常氮化铝高出近三倍。
“这是什么？”林薇问。
“我们不知道。”回答的是宝积电材料实验室的主任，一位头髮花白的博士，隔著玻璃用通讯器说道，“这种放射状晶体生长模式，在氮化铝沉积中从未报导过。中心点的高硬度区域……我们做了微区x射线能谱分析，成分还是氮化铝，没有掺杂其他元素。”
林薇调出x射线衍射图谱。正常的氮化铝薄膜应该显示出清晰的(002)晶面择优取向峰，但第四號样品的图谱上，除了主峰外，还出现了几个微弱的额外峰位。
“这些额外峰……”她放大图谱，“对应的是什么晶面？”
“我们查遍了资料库。”材料主任的声音带著困惑，“这些衍射角对应的晶面间距，在標准氮化铝晶体结构中不存在。除非……”
“除非晶体结构本身发生了改变。”林薇接过话头，“氮化铝通常是纤锌矿结构，但有没有可能在特定条件下，形成某种亚稳態的晶体变体？”
观察室里安静了几秒。约翰·陈打破了沉默：“理论上可能，但需要极端条件，高压、高温，或者强烈的电场作用。我们的沉积过程根本不具备这些条件。”
林薇没有立即回应。她的目光在几个屏幕间移动：原子力显微镜图像、x射线衍射图谱、沉积过程的实时监控数据……突然，她注意到一个细节。
“功率波动发生的確切时间点，与沉积层的对应关係是什么？”她问操作员。
技术人员调出时间同步数据。屏幕上，沉积过程的参数曲线与薄膜生长的模擬图像並列显示。那条代表电源功率的蓝色曲线，在某个时刻突然下凹，隨即恢復。
“波动发生在沉积进行到第47纳米厚度时。”技术人员用光標標记位置，“对应的是薄膜生长中期。”
林薇放大那个时间点的所有传感器数据。温度、压力、气体流量、等离子体密度……在功率波动的0.3秒內，几乎所有参数都发生了同步的微小变化。
但有一个参数例外。
“衬底偏压。”林薇指著一条几乎保持水平的红色曲线，“为什么衬底偏压没有变化？”
衬底偏压是沉积过程中施加在硅片上的直流电压，用於吸引离子、控制薄膜的致密性和应力。通常，它应该与等离子体功率联动调节。
约翰·陈凑近屏幕：“偏压电源是独立控制的……等等，这里有问题。”
他调出偏压电源的详细日誌。在功率波动的同一时刻，偏压电源的记录显示：“外部干扰检测，自动切换至缓衝模式。”
“缓衝模式？”林薇皱眉。
“我们的偏压电源有智能保护功能。”电源工程师解释道，“如果检测到来自电网或设备內部的异常干扰，它会自动切换到一个隔离变压器缓衝迴路，避免干扰传递到样品。但在切换过程中，输出电压会有一个极短暂的……相位漂移。”
相位漂移。林薇的脑海里突然闪过一个念头。
“把功率波动前后0.5秒的偏压波形完整数据调出来。”她的声音变得急促，“最高採样率的那组。”
数据被提取出来。在高速採集模式下，原本平滑的直流偏压曲线，显示出肉眼难以察觉的细节，在功率波动的瞬间，偏压信號上叠加了一个高频振盪，频率大约在1.2兆赫兹，振幅很小，只持续了五个周期。
“1.2兆赫兹……”林薇喃喃道，手指在虚擬键盘上快速计算，“这个频率对应的波长……在氮化铝中的传播特性……”
她突然停下，抬头看向约翰·陈：“我需要立即联繫华夏芯谷。现在。”
二十分钟后，一场跨越海峡的视频会议紧急召开。
华夏芯谷这边，陈醒、章晴、金秉洙聚集在euv光源实验室的会议室。宝岛这边，林薇、约翰·陈和宝积电的技术团队在线。
“陈总，请章晴描述一下13.52nm异常光谱峰的特徵。”林薇开门见山。
章晴在视频那头调出数据：“异常峰出现在13.52nm波长，比標准的13.5nm偏移0.02nm。持续时间不等，从0.2秒到0.5秒，出现时间隨机，没有明显规律。光谱半高宽比正常峰略窄，强度约为正常euv辐射的千分之三。”
“0.02nm偏移……”林薇重复这个数字，“对应多少能量差？”
“大约0.014电子伏特。”章晴回答。
林薇转向宝积电的电源工程师：“你们偏压电源的高频振盪频率是1.2兆赫兹。如果这个振盪通过某种机制耦合到等离子体中，可能產生什么效应？”
工程师愣住了：“理论上……高频振盪可能激发等离子体中的特定波模，產生参数共振。但这需要非常精確的频率匹配，而且我们的振盪振幅太小，不足以產生可观测的效应……”
“除非有放大机制。”陈醒的声音从扬声器传来，他一直在沉默地听，“林薇，你是不是怀疑，宝积电沉积设备的电源干扰，和『追光二期』的光谱异常，有共同的物理根源？”
“我需要验证一个假设。”林薇调出两份数据並列显示，左边是euv异常光谱的时间序列，右边是宝积电沉积过程的完整监控记录，“章晴，你们能精確测量异常光谱出现的时间吗？精確到毫秒级。”
“可以。”章晴操作控制系统，“过去72小时的所有异常事件都有时间戳记录。”
“约翰，我需要tc-224实验从开始到结束，所有电源系统、包括厂区电网的完整监控数据。特別是时间同步信號。”
约翰·陈虽然困惑，但还是指示团队调取数据。十五分钟后，一个庞大的数据集被整理出来。
林薇开始进行时间对齐分析。她將两个地点的数据流导入专业的信號处理软体，以国际原子时为基准进行同步。软体屏幕上，两条时间轴缓缓滚动，上面標註著各种事件標记。
起初，似乎没有什么关联。宝积电的电源波动发生在凌晨两点十七分，而华夏芯谷的euv异常光谱出现在多个隨机时间点。
但林薇没有放弃。她调整了分析算法，开始寻找“时间差中的规律”，不是同时发生的事件，而是按照某种固定时间间隔重复出现的模式。
一小时后，软体弹出了一个提示框：
“发现潜在相关性。事件对时间间隔近似等於光从宝岛到合城距离除以电磁波传播速度的整数倍。置信度72%。”
实验室里所有人都屏住了呼吸。
林薇放大分析结果。屏幕上显示，宝积电电源波动事件发生的时间点，与七个小时后华夏芯谷出现的两次euv光谱异常，存在精確的时间对应关係，时间差正好是电磁波从新竹到合城距离（约650公里）除以光速的两倍。
“两倍？”章晴不解。
“因为电磁波需要从源头传播到目的地，再被某种机制反射或散射回来。”陈醒的声音变得深沉，“这是一种……延迟共振效应。”
金秉洙博士突然拍案而起：“我明白了！如果有一个超低频的电磁扰动在传播，当它经过两个地点时，可能会与当地的设备產生相互作用。但为什么是宝积电的电源波动影响我们的euv光源？两地设备完全不同。”
“因为它们都工作在极端精密的电磁环境下。”林薇调出更多的环境监测数据，“看看这个，过去三天，东亚地区的电离层监测数据。这里有一个微弱的异常扰动，频率在1-3赫兹之间，传播方向从东南向西北。”
那是一种几乎不可察觉的地磁脉动，强度只有正常地磁场的百万分之一。通常这种扰动会被完全忽略。
“这种超低频电磁波可以穿透建筑物和屏蔽层。”林薇继续解释，“当它经过宝积电时，与沉积设备的电源系统发生耦合，產生了1.2兆赫兹的高频谐波。这个谐波又被传递到氮化铝沉积过程中，改变了晶体生长条件。”
“那我们的euv光源呢？”章晴问。
“同样的地磁脉动，传播到华夏芯谷时，可能与『追光二期』的高压电极系统发生相互作用。”林薇调出euv光源的结构图，“还记得那个我们安装的『起搏器』电极吗？它正在主动放电，形成一个可控的等离子体区域。如果外部电磁扰动与这个放电等离子体发生共振……”
“就可能激发出特定波长的辐射。”陈醒接过话，“13.52nm，这个波长对应的能量，正好是某种等离子体振盪模式的激发能。金博士，计算一下你们放电等离子体的特徵频率。”
金秉洙快速操作模擬软体。几分钟后，结果出来了：“如果我们放电等离子体中的电子密度波动与离子声波耦合……確实可能產生13.52nm左右的辐射。但需要非常特定的条件。”
“那个条件就是外部电磁扰动。”林薇总结道，“当特定频率、特定相位的地磁脉动经过时，就像一根手指轻轻拨动了琴弦，激发了原本处於临界状態的系统。”
会议室里一片寂静。这个推论太大胆了，两个相隔数百公里、技术完全不同的半导体製造设备，竟然因为遥远的地磁扰动而產生了隱秘的关联。
但数据就在那里，数学上无可辩驳。
“如果这个假设成立，”约翰·陈第一个打破沉默，他的声音带著震惊，“那意味著……整个东亚地区的高端半导体製造，可能都暴露在一个我们从未考虑过的风险因素下。地磁脉动、电网谐波、设备间的隱秘耦合……”
“这意味著我们需要重新评估所有精密製造过程的环境耐受性。”林薇看向陈醒，“陈总，我建议立即启动一项联合研究，监测东亚地区的电磁环境，建立预警模型。如果地磁扰动確实能影响晶片製造，那么『天权5號』量產过程中的良率波动，可能有一部分原因就在这里。”
陈醒沉默了几秒，然后说：“章晴，立即分析过去三个月所有euv异常光谱事件，与公开的地磁监测数据进行关联分析。金博士，评估在『追光二期』上加装主动电磁屏蔽的可行性。林薇，你那边继续与宝积电合作，但实验要暂停，直到我们搞清楚这个异常晶体结构的长期稳定性。”
他停顿了一下，语气变得格外严肃：“还有一件事。这个发现，目前仅限於这个会议室里的人知道。在完成全面评估之前，不得向任何外部人员透露。约翰副总裁，我希望宝积电方面也能遵守同样的保密要求。”
“我明白。”约翰·陈郑重道，“但陈总，林总，如果这个风险確实存在，那么整个行业都需要知道。这不仅仅是未来科技或宝积电的问题。”
“等我们有了確凿证据再说。”陈醒结束了通话。
视频会议结束后，林薇独自留在观察室。窗外，宝积电的晶圆厂已经开始新一天的生產。巨大的厂房在晨光中安静地运行著，没有人知道，这些製造著全球最先进晶片的设备，可能正受到来自地球磁场深处的微妙扰动。
她的手机震动，是陈醒发来的私密信息：
“那个放射状晶体结构，有没有可能是某种……新型材料？”
林薇重新调出原子力显微镜图像。那个直径两百纳米的奇异区域，在屏幕上静静展示著自己的与眾不同。中心点的高硬度，放射状的生长模式，异常的x射线衍射峰……
“需要进一步分析。”她回復，“但如果真的是氮化铝的亚稳態变体，並且具有更高的硬度、更好的热导率……”
“那么它可能就是chiplet封装一直在寻找的理想过渡层材料。”陈醒的信息快速回復，“一场由电磁扰动意外催生的材料突破。林薇，安排將这个样品紧急送回深城。让徐文渊教授亲自分析。”
“但宝积电方面……”
“与他们签订材料共同研发协议。”陈醒的决策果断，“如果这真是一个新发现，未来科技和宝积电共同拥有智慧財產权。这是维持合作的最好方式。”
林薇放下手机，看著洁净室里技术人员正在小心翼翼地將第四號样品装入特製的防护容器。那个因为电源波动意外诞生的微观结构，此刻承载著远超它自身尺寸的意义。
它可能是一个问题的答案，也可能是一个更大问题的开始。
而就在这时，她的工作邮箱收到了一封新邮件。发件人是台积电的梁总监，標题很简单：“关於今晨电磁异常事件的非正式交流”。
林薇点开邮件，內容只有一行字和一个附件：
“今晨2:15-2:20期间，我司3nm研发线记录到三次光刻机对准系统异常偏移。附件是原始数据。或许你们也会感兴趣？”
附件需要双重密码解锁。林薇输入密码，文件展开，那是台积电最先进的euv光刻机在凌晨时分的监控日誌。在几乎完全相同的时间段，三台不同厂房的光刻机，记录到了纳米级的工作檯位置漂移，虽然很快自动校正，但在如此精密的设备上，这种异常前所未有。
林薇靠在椅背上，深深吸了一口气。
地磁脉动的涟漪，似乎正在整个东亚半导体產业的水面上，盪起越来越清晰的波纹。
而她知道，当这些涟漪最终匯聚成浪时，可能改变的不只是一两个產品的良率，而是整个高端製造的技术范式。