第428章 EUV技术
森田弘一盯著面前那杯早已凉透的茶水，指尖在杯沿轻微摩挲。
九十纳米量產，这四个字像是一记闷棍，打碎了日系厂商最后的矜持。
他和岩本俊德交换了一个眼神，那是种在时代浪潮面前感到无力的挫败。
尼康和佳能曾是光刻机领域的双子星，在乾式光刻时代，全世界都要看他们的脸色。
可现在，台积电、东芯国际，甚至异军突起的雷霆晶片，全都倒向了阿斯麦倡导的浸没式阵营。
森田弘一清了清嗓子，声音有些乾涩。
“马总，张总，你们的建议牵扯到公司的根基。尼康需要进行严密的內部评估，这包括技术路径的重构和市场风险的评估。”
岩本俊德也跟著表態，佳能的情况类似，这种战略级的转向，不是我们几个人在魔都能拍板的。
马宇腾换了个更鬆弛的坐姿，他知道这两人已经心动，剩下的只是脚盘国企业骨子里的那点固执在作祟。
“理解。”他敲了敲桌面，语气平淡。
“但市场的窗口期很短。阿斯麦的浸没式设备已经在台积电和我们的厂房里运转，留给你们的时间不多了。”
会议室陷入了短暂的沉默。
马宇腾没打算在浸没式的话题上死缠烂打，他话锋一转，拋出了另一个更深远的问题。
“既然聊到未来，我很好奇，两位对极紫外光，也就是euv光刻技术怎么看？”
他在穿越前经常在科技相关的新闻里看到这个名词，知道这是代表了光刻技术未来发展的方向。
提到euv技术，岩本俊德的脸色瞬间阴沉下来，像是被揭开了陈年伤疤。
他靠在椅背上，自嘲地笑了笑。
“euv啊，那是个烧钱的无底洞。九十年代末，英特尔牵头成立了euv-llc联盟，集合了摩托罗拉、amd这些花旗国巨头。当时佳能主动请缨，想加入技术研发。结果呢？”
岩本俊德摊开手，语气里透著一股子怨气。
“花旗国政府以国家安全为由，把我们挡在大门外。最后反倒是阿斯麦这个欧罗巴公司捡了便宜，拿到了全套技术授权。听说他们的原型机已经快捣鼓出来了。”
森田弘一对此却嗤之以鼻。
“那台原型机我也略知一二。说它是光刻机，不如说是个昂贵的实验室摆件。”
“euv的波长对任何物质都是灾难，哪怕是空气都会吸收能量。光源效率低得令人髮指，曝光一片晶圆的时间居然要按『天』来计算。”
他越说越激动，甚至带上了一点技术专家的傲慢。
“还有掩模版的问题，euv会放大任何微小的瑕疵。一颗灰尘就能毁掉整个晶圆的良率。”
“在我看来，这些工程难题十年內都无解。”
“与其赌一个虚无縹緲的未来，不如继续深耕duv光源。只要把数值孔径和多重曝光做到极致，十纳米製程也不是没有可能。”
岩本俊德深以为然。
euv系统太复杂了，真空环境、反射镜组、高功率雷射，每一个环节都是在挑战物理极限。
短期內，它不具备商业化的价值。
马宇腾看著这两位侃侃而谈，心里却有些明悟。
他终於明白，为什么在前世的记忆里，尼康和佳能最终会在高端光刻机市场彻底消失。
他们太迷信自己在光学领域的积累，试图用战术上的精进，去对抗战略上的代差。
他们引以为傲的精密机械和镜头组，在euv这种降维打击面前，將毫无还手之力。
更关键的是，马宇腾还想到了这背后的地缘逻辑。
这些脚盘国厂商虽然技术底蕴深厚，但终究绕不开花旗国那个『大爹』。
一旦未来博弈升级，接到花旗国命令的尼康和佳能，这两家公司恐怕会比asml更早对东大企业进行断供。
靠人不如靠己。
马宇腾在笔记本上隨手划了一道槓。
目前的战略时机十分关键，东大与花旗国的关係尚处在蜜月期的余温中。
他可以利用脚盘国厂商对阿斯麦的危机感，诱导他们进入浸没式赛场。
只要尼康和佳能入局，光刻机市场短期內就不再是阿斯麦一家独大。
这种制衡，能为国內光刻机技术的自主研发爭取到最宝贵的时间窗口。
“既然两位对euv有保留意见，那我们还是回到务实的层面。”
马宇腾站起身，结束了这次会谈。
“期待尼康和佳能的评估结果。希望下次见面，我们谈的是关於浸没式光刻机的採购订单。”
送走脚盘国代表团后，张如晶拉住马宇腾，眉头紧锁。
“马总，你真觉得他们能指望得上？”
马宇腾看著窗外魔都繁华的街景，目光深邃。
“张老，他们只是我们手里的盾，用来挡住阿斯麦的刀。至於我们自己的剑，还得靠我们自己磨。”
张如晶收回投向窗外的视线，落在马宇腾身上。
“马总打算什么时候回鹏城？”
马宇腾合上笔记本，动作乾脆地塞进公事包。
“来都来了，总得看看这边的半导体设备產业。”
他活动了一下肩膀，“鹏城那边底子太薄，想找个像样的配套企业都难，真正成气候的，还得是魔都。”
张如晶听了，难得地笑出声。
“马总这趟算是找对人了。”
他端起茶杯，慢悠悠地呷了一口，“东芯国际在这边扎根这么多年，跟那些搞设备的打过的交道，比我喝的茶都多。”
“这样，明天我亲自带路，咱们先去张江那边转转。”
“那就有劳张老了。”马宇腾点头应下。
第二天一早，一辆黑色的商务车悄无声息地滑到张江高科技园区一栋不起眼的建筑前。
门口的牌子简单直接：魔都微电子装备有限公司。
张如晶指著那栋楼，向马宇腾介绍。
“这家公司零二年三月成立，由科技部和魔都府上联合牵的头，算是咱们国內唯一一家，敢说要衝击高端光刻机整机研製能力的企业。”
车门打开，一个穿著夹克的中年男人早已等在门口，正是魔都微电子的负责人，贺天成。
九十纳米量產，这四个字像是一记闷棍，打碎了日系厂商最后的矜持。
他和岩本俊德交换了一个眼神，那是种在时代浪潮面前感到无力的挫败。
尼康和佳能曾是光刻机领域的双子星，在乾式光刻时代，全世界都要看他们的脸色。
可现在，台积电、东芯国际，甚至异军突起的雷霆晶片，全都倒向了阿斯麦倡导的浸没式阵营。
森田弘一清了清嗓子，声音有些乾涩。
“马总，张总，你们的建议牵扯到公司的根基。尼康需要进行严密的內部评估，这包括技术路径的重构和市场风险的评估。”
岩本俊德也跟著表態，佳能的情况类似，这种战略级的转向，不是我们几个人在魔都能拍板的。
马宇腾换了个更鬆弛的坐姿，他知道这两人已经心动，剩下的只是脚盘国企业骨子里的那点固执在作祟。
“理解。”他敲了敲桌面，语气平淡。
“但市场的窗口期很短。阿斯麦的浸没式设备已经在台积电和我们的厂房里运转，留给你们的时间不多了。”
会议室陷入了短暂的沉默。
马宇腾没打算在浸没式的话题上死缠烂打，他话锋一转，拋出了另一个更深远的问题。
“既然聊到未来，我很好奇，两位对极紫外光，也就是euv光刻技术怎么看？”
他在穿越前经常在科技相关的新闻里看到这个名词，知道这是代表了光刻技术未来发展的方向。
提到euv技术，岩本俊德的脸色瞬间阴沉下来，像是被揭开了陈年伤疤。
他靠在椅背上，自嘲地笑了笑。
“euv啊，那是个烧钱的无底洞。九十年代末，英特尔牵头成立了euv-llc联盟，集合了摩托罗拉、amd这些花旗国巨头。当时佳能主动请缨，想加入技术研发。结果呢？”
岩本俊德摊开手，语气里透著一股子怨气。
“花旗国政府以国家安全为由，把我们挡在大门外。最后反倒是阿斯麦这个欧罗巴公司捡了便宜，拿到了全套技术授权。听说他们的原型机已经快捣鼓出来了。”
森田弘一对此却嗤之以鼻。
“那台原型机我也略知一二。说它是光刻机，不如说是个昂贵的实验室摆件。”
“euv的波长对任何物质都是灾难，哪怕是空气都会吸收能量。光源效率低得令人髮指，曝光一片晶圆的时间居然要按『天』来计算。”
他越说越激动，甚至带上了一点技术专家的傲慢。
“还有掩模版的问题，euv会放大任何微小的瑕疵。一颗灰尘就能毁掉整个晶圆的良率。”
“在我看来，这些工程难题十年內都无解。”
“与其赌一个虚无縹緲的未来，不如继续深耕duv光源。只要把数值孔径和多重曝光做到极致，十纳米製程也不是没有可能。”
岩本俊德深以为然。
euv系统太复杂了，真空环境、反射镜组、高功率雷射，每一个环节都是在挑战物理极限。
短期內，它不具备商业化的价值。
马宇腾看著这两位侃侃而谈，心里却有些明悟。
他终於明白，为什么在前世的记忆里，尼康和佳能最终会在高端光刻机市场彻底消失。
他们太迷信自己在光学领域的积累，试图用战术上的精进，去对抗战略上的代差。
他们引以为傲的精密机械和镜头组，在euv这种降维打击面前，將毫无还手之力。
更关键的是，马宇腾还想到了这背后的地缘逻辑。
这些脚盘国厂商虽然技术底蕴深厚，但终究绕不开花旗国那个『大爹』。
一旦未来博弈升级，接到花旗国命令的尼康和佳能，这两家公司恐怕会比asml更早对东大企业进行断供。
靠人不如靠己。
马宇腾在笔记本上隨手划了一道槓。
目前的战略时机十分关键，东大与花旗国的关係尚处在蜜月期的余温中。
他可以利用脚盘国厂商对阿斯麦的危机感，诱导他们进入浸没式赛场。
只要尼康和佳能入局，光刻机市场短期內就不再是阿斯麦一家独大。
这种制衡，能为国內光刻机技术的自主研发爭取到最宝贵的时间窗口。
“既然两位对euv有保留意见，那我们还是回到务实的层面。”
马宇腾站起身，结束了这次会谈。
“期待尼康和佳能的评估结果。希望下次见面，我们谈的是关於浸没式光刻机的採购订单。”
送走脚盘国代表团后，张如晶拉住马宇腾，眉头紧锁。
“马总，你真觉得他们能指望得上？”
马宇腾看著窗外魔都繁华的街景，目光深邃。
“张老，他们只是我们手里的盾，用来挡住阿斯麦的刀。至於我们自己的剑，还得靠我们自己磨。”
张如晶收回投向窗外的视线，落在马宇腾身上。
“马总打算什么时候回鹏城？”
马宇腾合上笔记本，动作乾脆地塞进公事包。
“来都来了，总得看看这边的半导体设备產业。”
他活动了一下肩膀，“鹏城那边底子太薄，想找个像样的配套企业都难，真正成气候的，还得是魔都。”
张如晶听了，难得地笑出声。
“马总这趟算是找对人了。”
他端起茶杯，慢悠悠地呷了一口，“东芯国际在这边扎根这么多年，跟那些搞设备的打过的交道，比我喝的茶都多。”
“这样，明天我亲自带路，咱们先去张江那边转转。”
“那就有劳张老了。”马宇腾点头应下。
第二天一早，一辆黑色的商务车悄无声息地滑到张江高科技园区一栋不起眼的建筑前。
门口的牌子简单直接：魔都微电子装备有限公司。
张如晶指著那栋楼，向马宇腾介绍。
“这家公司零二年三月成立，由科技部和魔都府上联合牵的头，算是咱们国內唯一一家，敢说要衝击高端光刻机整机研製能力的企业。”
车门打开，一个穿著夹克的中年男人早已等在门口，正是魔都微电子的负责人，贺天成。